Les réacteurs plasma disponibles au sein de l’équipe couvrent une gamme de pression allant de 10-3 mbar à la pression atmosphérique pour des fréquences de fonctionnement comprises entre 50 Hz à 2,45 GHz. Il y a actuellement :
- 4 réacteurs DBD homogènes à pression atmosphérique dont un permettant le traitement des films en défilement.
- 10 réacteurs fonctionnant à basse pression, dont :
- 1 en basse fréquence.
- 4 en radiofréquence (13,56 MHz).
- 1 lit fluidisé en post-décharge (2,45 GHz).
- 4 en micro-onde (2,45 GHz) RCE Répartie, linéaire ou matriciel.
 Dépôt sur poudre en lit fluidisé dans une post-décharge d’azote |
 Dépôt de couche mince sur film en défilement par plasma à la pression atmosphérique (DBD) |
 Décharge RF diode |
 Réacteur micro-onde RCER pour gravure et dépôt |