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Réacteurs plasma

par Nicolas Naudé - publié le , mis à jour le

Les réacteurs plasma disponibles au sein de l’équipe couvrent une gamme de pression allant de 10-3 mbar à la pression atmosphérique pour des fréquences de fonctionnement comprises entre 50 Hz à 2,45 GHz. Il y a actuellement :

  • 4 réacteurs DBD homogènes à pression atmosphérique dont un permettant le traitement des films en défilement.
  • 10 réacteurs fonctionnant à basse pression, dont :
    • 1 en basse fréquence.
    • 4 en radiofréquence (13,56 MHz).
    • 1 lit fluidisé en post-décharge (2,45 GHz).
    • 4 en micro-onde (2,45 GHz) RCE Répartie, linéaire ou matriciel.
Dépôt sur poudre en lit fluidisé dans une post-décharge d’azote Dépôt de couche mince sur film en défilement par plasma à la pression atmosphérique (DBD)
Décharge RF diode Réacteur micro-onde RCER pour gravure et dépôt