Caractérisation du gaz :
- Electrique :
- Sonde de Langmuir,
- Mesure de puissance,
- Courant de décharge.
- Optique :
- Spectroscopie d’émission UV-Visible,
- Imagerie rapide (7 ns) résolue en temps,
- Spectroscopie Infrarouge du gaz (IRTF),
- Diagnostics laser du gaz : Fluorescence Induite par Laser à 1 ou 2 photons (LIF, TALIF), absorption haute sensibilité (CRDS, large bande).
- Spectrométrie de masse.
Caractérisation du matériau (plate-forme CARMAT) :
- Microscopie électronique (MEB).
- Profilométrie.
- Spectroscopie infrarouge (IRTF).
- Ellipsométrie spectroscopique UV-Vis-NIR (ex-situ et in-situ).
- Spectrofluorimétrie.
- Mesures électriques : conductivité, pertes diélectriques, C(V), C(f).
- Mesure de mouillabilité et d’énergie de surface.
 Plateforme de diagnostics laser (LIF – TALIF – CRDS) |
 Comparaison entre un spectre expérimental et un spectre synthétique (second système positif de l’azote) |
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Mesures temporelles de la température électronique dans le rayon du réacteur (paroi en r=0 et plasma de diffusion pour r>100) dans un PMM-RCER de CH4 : les électrons chauds (rouge) sont confinés dans les zones de fort champ magnétique (festons). |
 Photographie rapide d’une décharge filamentaire (temps de pose=10 ns) |
 Les poudres formées en PMM-RCER sont localisées dans les zones de fort champ magnétique (festons) et ont une trajectoire hélicoïdale montrant ainsi l’effet du champ magnétique sur leur formation) |