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Outils de caractérisation

par Nicolas Naudé - publié le , mis à jour le

Caractérisation du gaz :

  • Electrique :
    • Sonde de Langmuir,
    • Mesure de puissance,
    • Courant de décharge.
  • Optique :
    • Spectroscopie d’émission UV-Visible,
    • Imagerie rapide (7 ns) résolue en temps,
    • Spectroscopie Infrarouge du gaz (IRTF),
    • Diagnostics laser du gaz : Fluorescence Induite par Laser à 1 ou 2 photons (LIF, TALIF), absorption haute sensibilité (CRDS, large bande).
  • Spectrométrie de masse.

Caractérisation du matériau (plate-forme CARMAT) :

  • Microscopie électronique (MEB).
  • Profilométrie.
  • Spectroscopie infrarouge (IRTF).
  • Ellipsométrie spectroscopique UV-Vis-NIR (ex-situ et in-situ).
  • Spectrofluorimétrie.
  • Mesures électriques : conductivité, pertes diélectriques, C(V), C(f).
  • Mesure de mouillabilité et d’énergie de surface.
Plateforme de diagnostics laser (LIF – TALIF – CRDS) Comparaison entre un spectre expérimental et un spectre synthétique (second système positif de l’azote)
Mesures temporelles de la température électronique dans le rayon du réacteur (paroi en r=0 et plasma de diffusion pour r>100) dans un PMM-RCER de CH4 : les électrons chauds (rouge) sont confinés dans les zones de fort champ magnétique (festons).
Photographie rapide d’une décharge filamentaire (temps de pose=10 ns) Les poudres formées en PMM-RCER sont localisées dans les zones de fort champ magnétique (festons) et ont une trajectoire hélicoïdale montrant ainsi l’effet du champ magnétique sur leur formation)